Hệ thống: Chế độ DP, loại Barrel
Công suất tần số cao: Tối đa 200W
Tần số dao động: 13.56MHz
Phương pháp điều chỉnh: Tự động
Buồng phản ứng: Kính Pyrex φ100×L160mm
Hệ thống khí phản ứng: 1 hệ thống (oxy), Đồng hồ đo lưu lượng
Hệ thống điều khiển: Van rò rỉ thủ công
Vật liệu ống dẫn: SUS, Teflon
Kích thước bên ngoài: W350 × D400 × H500mm (không tính phần nhô ra)
Phụ kiện: Đế mẫu x 1 cái
Kích thước bên trong (φ×D mm): 100×160mm
Kích thước bên ngoài (W×D×H mm): 350×400×500mm
Nguồn điện: AC115V/AC220V, một pha với biến áp giảm áp
Trọng lượng: 25kg