Chế độ plasma: có thể chuyển đổi chế độ RIE / DP
Cấu trúc điện cực: song song
Công suất RF: tối đa 500W
Tần số dao động: 13.56MHz bộ dao động thạch anh
Hiển thị: bảng điều khiển cảm ứng LED
Kích thước buồng: W500 × D300 × H200mm
Kích thước bàn: W400 × D200mm
Vật liệu buồng: nhôm
Khí phản ứng: 2 hệ thống (Ar, O2)
Khí tẩy: N2 hoặc không khí khô
Kiểm soát dòng khí phản ứng: bộ điều khiển dòng khối lượng (mass flow controller)
Bơm chân không: khoảng 500 L/phút
Cổng nạp khí: khí phản ứng: 2 điểm, khí tẩy: 1 điểm
Kích thước bên trong (W×D×H mm): 500×300×200mm
Kích thước bên ngoài (W×D×H mm): 700×700×1285mm
Nguồn điện: AC200V ~ AC415V, ba pha với máy hạ áp
Trọng lượng: 180kg