Máy làm sạch bằng plasma V1000

Chế độ plasma: DP/RIE

Tần số dao động: 13.56MHz

Công suất RF: 1,000W

Kích thước bàn: 280W × 280D mm (bàn phẳng song song)

Khí phản ứng: Điều khiển dòng khối lượng, 2 hệ thống + 1 hệ thống cho khí tẩy

Bơm chân không: Lưu lượng xả khoảng 1,000L/phút

Thiết bị an toàn: Công tắc cửa, Khóa liên động của bảng điều khiển bên, Công tắc dừng khẩn cấp, Thiết bị ngăn ngừa quá nhiệt

Kích thước bên trong (W×D×H mm): 400×400×380mm

Kích thước bên ngoài (W×D×H mm): 700×800×1600mm

Kích thước bàn: 280W × 280D mm

Nguồn điện: AC220V ~ AC415V, 3 pha với biến áp hạ áp

Trọng lượng: 1000kg