Máy làm sạch khô bằng plasma (plasma dry cleaner) PDC510

Chế độ plasma: có thể chuyển đổi chế độ RIE / DP

Cấu trúc điện cực: song song

Công suất RF: tối đa 500W

Tần số dao động: 13.56MHz bộ dao động thạch anh

Hiển thị: bảng điều khiển cảm ứng LED

Kích thước buồng: W500 × D300 × H200mm

Kích thước bàn: W400 × D200mm

Vật liệu buồng: nhôm

Khí phản ứng: 2 hệ thống (Ar, O2)

Khí tẩy: N2 hoặc không khí khô

Kiểm soát dòng khí phản ứng: bộ điều khiển dòng khối lượng (mass flow controller)

Bơm chân không: khoảng 500 L/phút

Cổng nạp khí: khí phản ứng: 2 điểm, khí tẩy: 1 điểm

Kích thước bên trong (W×D×H mm): 500×300×200mm

Kích thước bên ngoài (W×D×H mm): 700×700×1285mm

Nguồn điện: AC200V ~ AC415V, ba pha với máy hạ áp

Trọng lượng: 180kg