ENGLISH VIETNAMESE
LĨNH VỰC ỨNG DỤNG
Dược phẩm - Hóa mỹ phẩm
Thức ăn gia súc - Thủy sản
Công nghệ thực phẩm
Công nghệ vật liệu - Nano
Công Nghệ Sinh Học
Môi trường
Thiết bị cơ bản
Dụng Cụ - Hóa Chất Tinh Khiết
Danh Mục Thiết Bị Phòng Thí Nghiệm
Nhựa Công Nghiệp & Thí Nghiệm
Catalogue Thành Khoa
TÌM KIẾM
SẢN PHẨM  >>  Công nghệ vật liệu - Nano
Plasma Asher Stripper Descum

 

Manufacturer: Matrix Integrated Systems

Refurbished by Allwin21 Corp
Model: Refurbished Matrix 105


Matrix is a Registered Trademark of Matrix Integrated Systems, Inc.Matrix 105 provides high throughput in a single wafer system capable of  handling wide variety of substrates, including round, square and ranging from 3” up to 6”. By maintaining independent closed-loop system controls, the system optimizes vital device parameters. 

  • Single Wafer, Multi-Step Processing
  • Closed-Loop Temperature Control
  • Pressure Control
  • Accurate, closed-loop pressure control with “butterfly-style” throttle valve and capacitance manometer
  • RF power: 100 to 500 watts
  • Timed cycles up to 4 hour each 

 

Matrix105 Applications
Photoresist Stripping

  • High dose implant (As+, B+, P+)
  • Post-polysilicon etch
  • Post-metal etch
  • Post-oxide etch
  • Rework

Controlled Resist Removal

  • Post-develop descum (pre-etch)
  • Dry/wet process capability
  • Resist planarization
  • Uniformity capability (5% 1s)

GaAs wafer Stripping and Descum
Thin Film Head Resist Cleaning and Surface Treatment
MEMS (Micro Electro- Mechanical Systems)  Up to 4 hour processes

Matrix 105 consists of the following major assemblies:

  • Main Console:

Process Model,
Operator interface Model,
Wafer Transport Module,
Elevator Module,
PC Control Module.

  • Power Supply Console:

RF Generator,
DC Supply,
AC Distribution,
Gas Distribution panel,
Temperature/Pressure Control Module.

  • Vacuum Pump (optional):

  
CÔNG TY TNHH THIẾT BỊ KHOA HỌC KỸ THUẬT THÀNH KHOA
Địa chỉ: 246/14 Phan Huy Ích, Phường 12, Q.Gò Vấp, TP.HCM
Điện thoại: +84-28-39875369, 54272790 - Fax: +84-28-54367595
Email: tkinstruments@thanhkhoa.com.vn
Số khách online: 27
Số lượt truy cập: 824583
Thiết kế bởi SATA JSC